自由基等离子体腐蚀,radical plasma etching

1)radical plasma etching
自由基等离子体腐蚀
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2)the plasma corroding
等离子体腐蚀
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3)plasma etcher
等离子体腐蚀器
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4)plasma etching
等离子腐蚀
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5)microwave plasma etching
微波等离子体腐蚀

6)planar plasma reactor
平面式等离子体腐蚀器
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补充资料：自由基
自由基
freeradical

具有未配对电子的化学基团，它可以是原子、分子或基团。又称游离基。有机自由基一般是作为活性中间体短暂存在的，可通过加热或光照，使分子中共价键的一对电子发生均裂反应而产生。自由基可根据它们的相对稳定性划分为活泼自由基和稳定自由基两类。
①活泼自由基。大多数自由基表现很活泼，在反应过程中仅能瞬时存在。许多自由基反应自由基链反应机理，由一个活泼自由基周而复始地引起许多其他分子连续发生反应，如溴化氢在过氧化物作用下与丙烯的加成：
链引发：RO·+HBrROH+Br·
链增长：Br·+CH2=CHCH3BrCH2HCH3
BrCH2HCH3+HBrBrCH2CH2CH3+Br·当两个自由基碰在一起发生结合，或者自由基与器壁碰撞失去活性时，链就终止。活泼自由基可以诱发加成反应、取代反应、氧化还原反应等。
②稳定自由基。有些自由基由于分子结构的特点表现很稳定，例如三苯甲基自由基就可在溶液中存在。在这些自由基分子中相连的芳香基团上的π电子与自由基的未配对电子产生共轭效应，使未配对电子离域，降低了分子能量，这是自由基稳定化的主要原因。体积较大的相连基团的立体效应也能阻止自由基的相互结合。
自由基也可根据电子结构的特性划分为中性自由基和带电荷的离子基两类。如果一个分子中同时存在两个或多个未配对电子，而且它们彼此间不发生相互作用，就形成双自由基或多自由基，卡宾的三线态也可看作是双自由基。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。

自由基等离子体腐蚀,radical plasma etching